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超精密磨削

超精密磨削

2023-10-22T17:10:25+00:00

精密与超精密加工现状与发展趋势知乎

2020年8月26日本文介绍了精密和超精密加工的概念、范畴、特点和发展趋势，重点分析了超精密加工的原理、分类、优势和应用领域。超精密加工是指在超精密机床设备上，利主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度超精密加工百度百科2023年9月25日本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明，介绍了超硬磨粒砂轮的制备、硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述

超精密加工技术讲义 USTC

2018年11月1日超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削以及抛光加工 , 其加工精度可以达到亚微米量级的形状精度和纳米量级的表面粗糙度。特别是使用精密的天然单点金刚超精密磨削去除量最薄，采用较小修整导程和吃刀量来修整砂轮，是靠超微细磨粒等高微刃磨削作用，并采用较小的磨削用量磨削。超精密磨削要求严格消除振动，并保证恒温及超精密和超精密磨削机理百度文库Grinding Ultra Precision 磨削技术应用广泛工程设计服务服务法孚的克兰菲尔德精密磨床用于世界上一些最先进的超精密加工应用。业务领域包括高质量的光学薄膜，到半导体行业领先的超精密加工，来自克兰菲尔德精密 Fives Group

超精密磨削与仿真技术澎湃号湃客澎湃新闻The Paper

2021年8月17日超精密磨削与仿真技术近日，山东大学姚鹏教授团队以“ 柱面微透镜阵列的精密磨削 ”为题发表文章于《光学精密工程》2021年29卷第7期，并被选为封面文章。柱面微透镜阵列元件是由柱面结构深度为简介精密加工技术以现代精密及超精密制造技术的前沿课题为研究重点，致力于难加工材料、光学硬脆材料、有色金属、甚至模具钢的平面、球面、非球曲面的高精度加工及检测精密加工清华大学制造工程研究所 Tsinghua University2022年3月14日 ELID超精密磨削的过程可分为四个阶段，具体归纳如下图。如下图ELID镜面磨削基本原理图(a)所示，在砂轮修正前，砂轮由磨粒和金属结合剂组成，磨粒均匀分布。在进行磨削加工前，需单独对砂轮进行电解修整工作(图b)，在砂轮表面电离溶解一层高端制造的精密磨削技术加工砂轮表面

硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述

2023年9月25日为了提高硬脆材料加工质量，需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明，介绍了超硬磨粒砂轮的制备、砂轮磨损检测与分析精密和超精密磨削机理摘要阐述了精密磨削与超精密磨削的机制，介绍了近年来精密与精密磨床的发展概况以及精密与超精密磨削技术的研究现状。在分析了精密磨削与超精密磨削的发展趋势基础上提出了研究应关注的几个热点问题，如超精密磨削的基本精密和超精密磨削机理百度文库2018年11月1日超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削以及抛光加工，其加工精度可以达到亚微米量级的形状精度和纳米量级的表面粗糙度。特别是使用精密的天然单点金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接切削出超光滑的加工表面，省去超精密加工技术讲义 USTC

精密磨削和超精密磨削(精密加工)PPT课件百度文库

2020年10月31日精密磨削和超精密磨削 (精密加工)PPT课件硬度及其选择磨具的强度普通磨具硬度低表示磨粒易脱落。超硬磨具无硬度项指标。高速回转时，抵抗因离心力的作用而自身破碎的能力。磨具的形状和尺寸及其基体材料根据机床规格和加工情况选择磨具的例如超精密撞点机、超精密VCUT机、多轴超精密加工机等。这些基于超精密微车削、磨削、铣削的纳米加工技术，与业内各知名厂商皆有合作。立即咨询 2 强大的产品设计能力与代加工能力大部份加工的VCUT、球面、非球面、微透镜苏州新云超精密技术有限公司官方网站关键词：超精密磨削，磨削工艺，一．超精密磨削机理超精密磨削机理可以单颗粒的磨削加工过程予以说明。单颗粒磨削的切入模型如图35所示，设磨粒以切速v、切入角α切入平面状工件。理想磨削轨迹是从接触始点开始至接触终点结束。超精密磨削机理及工艺研究百度文库

高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! 知乎

2018年11月9日高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! UG编程帮助更多想学UG的同行更高效的提高自己的编程能力很早以前看过这样一个报道，说是德国、日本等几个国家的科学家耗时5年时间，花了近千万元打造了一个高纯度的硅28材料制成的圆球，这个1kg纯硅 2020年6月24日该书是一本系统阐述硅片超精密磨削基础理论、关键技术及加工装备的优秀专著，除过系统地总结著者及其团队多年来的研究和应用成果外，还介绍了国内外关于硅片超精密磨削技术的*新进展。具有*威性、创新性、先进性和实用性。该书基础理论与技术实践硅片的超精密磨削理论与技术简介，目录书摘京东2020年11月11日 1）精密磨削表面粗糙度为016—004μm。2）超精密磨削表面粗糙度为004—001μm 。3）镜面磨削表面粗糙度可达001μm以下。5钻削钻削是孔加工的一种基本方法，钻孔经常在钻床和车床上进行，也可以在镗床或铣床上进行车、铣、刨、磨、钻、镗所能达到的最高加工精度全在这里

中国科学院西安光学精密机械研究所

2022年9月26日西安光机所先进光学元件试制中心超精密磨削技术学科带头人，中国光学工程学会、陕西光学工程学会会员。主持国家自然科学基金、中国博士后基金、中科院西部之光、自主部署工艺科研项目共4项，发表论文十余篇（一作8篇）。2023年7月13日工程中心目前主要研究方向为：高速与超高速磨削技术；精密与超精密磨削技术；高能束加工及复合制造；装备设计及智能制造；生物制造及绿色再制造。重点突破国家支柱产业关键零部件精加工装备的国中心介绍国家高效磨削工程技术研究中心 2021年9月28日超高速、超精密角接触球轴承动力学（DmN→ mmrpm）以航空发动机、高速机床电主轴和高速电机为背景，深入研究角接触球轴承结构参数、润滑条件、装配参数和工况条件对轴承精度、寿命、振动特性及热特性的影响规律，为超精密角接触球轴承的性能优化设计、应用和故障诊断提供理论依据熊万里国家高效磨削工程技术研究中心

金刚石砂轮百度百科

金刚石砂轮是属于超硬磨粒砂轮，与普通磨料砂轮相比，具有非常明显的特点和优势： 1、金刚石磨料的硬度决定了金刚石砂轮的主要特性，其可对硬质合金、玻璃、陶瓷等难加工材料进行高效磨削，且磨削工具有着最长时间的使用寿命。 2、金刚石具有高法孚的克兰菲尔德精密磨床用于世界上一些最先进的超精密加工应用。业务领域包括高质量的光学薄膜，到半导体晶圆光刻和太空望远镜的反射镜。法孚克兰菲尔德精密机床在质量方面享有国际声誉，凭借卓越的高刚度和阻尼、热稳定性以及最先进的技术，实现了超高水平的加行业领先的超精密加工，来自克兰菲尔德精密 Fives Group磨料是锐利、坚硬的材料，用以磨削较软的材料表面。磨料有天然磨料和人造磨料两大类。按硬度分类有超硬磨料和普通磨料两大类。磨料的范围很广，从较软的家用去垢剂、宝石磨料到最硬的材料金刚石。磨料是制造每一种精密产品所必不可少的材料。许多天然磨料，已被人造磨料所代替。除金刚磨料百度百科

大尺寸单晶硅片加工技术简介知乎

2022年8月22日直径不大于200 mm 的硅片多采用双面研磨技术,直径为300mm 及以上的硅片多采用超精密磨削技术。大连理工大学高性能精密制造创新团队系统开展了直径为300mm 硅片的超精密磨削理论与技术研究,开发了硅片加工变形评价技术和设备,研制 2016年7月9日精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究 14:13 摘要：从磨削砂轮及其修整、磨削用量、磨床精度等主要方面总结达到精密和超精密磨削效果的必要措施。提出有关超精密磨削机理的技术发展前沿并着重介绍有关超硬材料砂轮超精密磨削的研精密和超精密磨削机理及磨削砂轮选择的研究2023年5月21日 VersatileGP300量产机台的超精密晶圆磨削系统稳定实现了12英寸晶圆片内磨削TTV＜1um，达到了国内领先和国际先进水平，并配备了新开发的CMP多区压力智能控制系统，突破传统减薄机的精度限制，实现了减薄工艺全过程的稳定可控。填补我国空白！华海清科12英寸超精密晶圆减薄机量产机台出货

中国超精密齿轮技术的“进化” 澎湃新闻

2021年10月18日超精密齿轮技术 2级到1级的“进化” 背景 1985年中国正式全面启动科技体制的改革，在阶段，以开拓技术市场为突破口，引导科技工作面向经济建设，促进科技与经济的紧密结合。 1986年成立国家自然科学基金，以推动自然科学基础研究的发展。在此 2023年5月6日国在光学超精密制造装备与工艺取得了显著进展。大连理工大学开发了Φ300 mm硅片超精密机床，具有在线测量硅片厚度、在线测量磨削力等功能，磨削 Φ300 mm硅片的TTV值≤4 μm，表面粗糙度Ra≤ 14 nm，亚表面损伤深度≤025 μm，实现了高效低损伤光学元件超精密磨抛加工技术研究与装备开发 OE Journal2022年4月14日 12国外非球面零件的超精密加工技术的现状 80年代以来，出现了许多种新的非球面超精密加工技术，主要有：计算机数控单点金刚石车削技术、计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等，这些加工方非球面零件超精密加工技术知乎

超精密加工现状综述网易订阅

2019年1月3日超精密切削、超精密磨削、超精密研磨与抛光技术已取得长足的进展，加工后工件表面精度可达纳米级或亚纳米级，并且加工方法目趋多样化。总的来说，超精密磨削、珩磨等固着磨粒超精密加工技术正在追求游离磨粒加工技术的加工精度，而游离磨粒超精密加工技术正在追求固着磨粒加工的效率。2019年12月25日单超精密加工设备依然稀少而昂贵，主要以专用机的形式订制。在这一时期还出现了可加工硬质金属和硬脆材料的超精密金刚石磨削技术及磨床，但其加工效率无法和金刚石车床相比。3）20世纪90年代后，民用超精密加工技术逐渐成熟。超精密加工技术的发展现状澎湃新闻超精密磨削技术智能主轴和振动辨识方法主要研究成果研究得到国家973、863、国家科技重大专项、国家自然科学基金、国家支撑计划等支持，获得CCMT2010中国数控机床展“春燕奖”，2015年中国机械工业科技特等奖精密加工清华大学制造工程研究所 Tsinghua University

半球谐振子曲面加工干涉分析及其超精密磨削工艺

2022年1月11日为解决半球谐振子加工难题，提高半球谐振陀螺的性能，从半球谐振子的结构特征出发，对谐振子加工过程中的干涉进行理论分析；再根据球头砂轮磨削区域分布的特点进行磨削轨迹规划，确定谐振子不同磨削阶段球头砂轮的最佳转角；最后在自研的半球谐振子 2023年9月3日图1 高端光学元件超精密加工技术及装备发展路线图（一）应用需求 1 深入实施制造强国战略的需要国家“十四五”规划纲要提出，深入实施制造强国战略。高端光学元件作为制造业的核心基础零件，其制造技术研究对加强产业基础能力建设、推动制造业优化升蒋庄德院士：高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究 1精密磨削加工精密磨削加工可分为普通磨料砂轮磨削和超硬磨料砂轮磨削两大类。（1）普通磨料砂轮精密磨削普通磨料砂轮精密磨削是指加工精度达到 1～01μm、表面粗糙度Ra达到 02～0025μm 的磨削方法，又称为低粗糙度磨削。多用于机床主轴、轴承、液压滑阀、滚动导轨、量规等的精密加工。知乎盐选 23 精密和超精密加工技术

硅片的超精密磨削理论与技术百度百科

《硅片的超精密磨削理论与技术》是2019年5月电子工业出版社出版的图书，作者是郭东明、康仁科。本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床 2021年8月17日超精密磨削与仿真技术近日，山东大学姚鹏教授团队以“ 柱面微透镜阵列的精密磨削 ”为题发表文章于《光学精密工程》2021年29卷第7期，并被选为封面文章。柱面微透镜阵列元件是由柱面结构深度为微米级的透镜组成的阵列，不仅具有传统透镜的聚焦超精密磨削与仿真技术澎湃号湃客澎湃新闻The Paper超精密磨削加工材技术发展的主要方向。由于精密、料去除率较低，因此能够获得高精度和高表面质量的 [3 ， 5 ] 1 精密及超精密磨削采用超硬磨料磨具进行精密及超精密磨削是磨削。精密与超精密磨削的机理与普通磨削有些许不同之磨削加工技术的发展趋势百度文库

磨削加工技术的发展趋势百度学术

摘要：综述了磨削加工的发展趋势,主要包括高速磨削、超高速磨削、精密和超精密磨削、缓进给磨削、高效深切磨削、砂带磨削及绿色磨削技术。分析了超高速磨削加工的机理及超高速磨削的优越性。阐述了高速超高速磨削加工技术的发展前景。关键词 2022年8月7日图4、双面磨削原理示意图[1] 表1所示为上述三种单晶硅片的磨削与双面研磨的对比。双面研磨主要应用于200mm以下硅片加工，具有较高的出片率。由于采用固结磨料砂轮，单晶硅片的磨削加工能够获得远半导体工艺晶圆减薄工艺知乎2016年8月12日在超精密加工中，超精密切削、超精密磨削的实现在很大程度上依靠于加工设备、加工工具以及其它相关技术的支持。并受其加工原理及环境因素的影响和限制，要实现更高精度的加工十分困难。而超精密研磨抛光由于具有独特的加工原理和对超精密研磨抛光方法

超精加工百度百科

超精密加工就是在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格的约束的相对运动，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。其精度从微米到亚微米，乃至纳米，其应用范围日趋广泛，在高技术领域和军用工业以及民用工业中都有广泛应用，尤其是电气 2014年9月7日在超精密磨削中金刚石砂轮的修整情况对零件的加工质量具有决定性影响。其修整过程主要包括修平。修平一般采用用金刚石砂轮磨削相对软质物质如碳化硅砂轮。结合剂硅晶片超精密加工的研究现状豆丁网2020年12月1日报告人简介：浙江工业大学资深教授，享受国务院政府特殊津贴专家，浙江省有突出贡献中青年专家。现任浙江工业大学超精密加工研究中心主任，机械工业特种精密磨削重点实验室主任，磨粒技术委员会副主任，精密加工与纳米技术委员会副主任，切削先上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室

精密和超精密加工技术百度学术

机械工业出版社摘要：精密和超精密加工技术近年来获得飞跃发展《精密和超精密加工技术 (第2版)》全面系统地讲述了精密和超精密加工技术,包括:超精密切削和金刚石刀具,精密和超精密磨削,研磨与抛光,精密和超精密机床,精加工中的测量技术和在线误差 2019年1月11日精密磨削是指在精密磨床上，选择细粒度砂轮，并通过对砂轮的精细修整，使磨粒具有微刃性和等高性；磨削后，使被磨削表面所留下的磨削痕迹极其微细、残留高度极小，再加上无火花磨削阶段的作用，获得加工精度为1~01μm和表面粗糙度Ra 为02~0025μm的表面磨削方法。精密和超精密磨削的特点及应用是什么资讯超硬材料网2012年11月2日精密超精密砂带磨削第四讲砂带磨削的机理和特点1砂带的结构特点：砂带是特殊形态的多刀、多刃的切削工具，其切削功能主要是由粘附在基底上的磨粒来完成。砂带的结构如右图2所示：它由基材、磨粒、粘接剂制成：磨粒可为刚玉、碳化硅 2012 003 精密超精密砂带磨削豆丁网

高端制造的精密磨削技术加工砂轮表面

2022年3月14日 ELID超精密磨削的过程可分为四个阶段，具体归纳如下图。如下图ELID镜面磨削基本原理图(a)所示，在砂轮修正前，砂轮由磨粒和金属结合剂组成，磨粒均匀分布。在进行磨削加工前，需单独对砂轮进行电解修整工作(图b)，在砂轮表面电离溶解一层 2023年9月25日为了提高硬脆材料加工质量，需要对超精密磨削技术进行系统化的深入研究。本文从超精密磨削装备设计优化的角度出发，对自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化3种磨削方法的原理与机床设备进行了详细说明，介绍了超硬磨粒砂轮的制备、砂轮磨损检测与分析硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述精密和超精密磨削机理摘要阐述了精密磨削与超精密磨削的机制，介绍了近年来精密与精密磨床的发展概况以及精密与超精密磨削技术的研究现状。在分析了精密磨削与超精密磨削的发展趋势基础上提出了研究应关注的几个热点问题，如超精密磨削的基本精密和超精密磨削机理百度文库

超精密加工技术讲义 USTC

2018年11月1日超精密加工主要有超精密切削、超精密磨削以及抛光加工，其加工精度可以达到亚微米量级的形状精度和纳米量级的表面粗糙度。特别是使用精密的天然单点金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接切削出超光滑的加工表面，省去 2020年10月31日精密磨削和超精密磨削 (精密加工)PPT课件硬度及其选择磨具的强度普通磨具硬度低表示磨粒易脱落。超硬磨具无硬度项指标。高速回转时，抵抗因离心力的作用而自身破碎的能力。磨具的形状和尺寸及其基体材料根据机床规格和加工情况选择磨具的精密磨削和超精密磨削(精密加工)PPT课件百度文库例如超精密撞点机、超精密VCUT机、多轴超精密加工机等。这些基于超精密微车削、磨削、铣削的纳米加工技术，与业内各知名厂商皆有合作。立即咨询 2 强大的产品设计能力与代加工能力大部份加工的VCUT、球面、非球面、微透镜苏州新云超精密技术有限公司官方网站

超精密磨削机理及工艺研究百度文库

关键词：超精密磨削，磨削工艺，一．超精密磨削机理超精密磨削机理可以单颗粒的磨削加工过程予以说明。单颗粒磨削的切入模型如图35所示，设磨粒以切速v、切入角α切入平面状工件。理想磨削轨迹是从接触始点开始至接触终点结束。2018年11月9日高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! UG编程帮助更多想学UG的同行更高效的提高自己的编程能力很早以前看过这样一个报道，说是德国、日本等几个国家的科学家耗时5年时间，花了近千万元打造了一个高纯度的硅28材料制成的圆球，这个1kg纯硅高端制造方法——超精密抛光技术, 不简单! 知乎2020年6月24日该书是一本系统阐述硅片超精密磨削基础理论、关键技术及加工装备的优秀专著，除过系统地总结著者及其团队多年来的研究和应用成果外，还介绍了国内外关于硅片超精密磨削技术的*新进展。具有*威性、创新性、先进性和实用性。该书基础理论与技术实践硅片的超精密磨削理论与技术简介，目录书摘京东